EUV微影可望成为下一代芯片加工技术，采用13纳米波长的流明，使芯片制造商能在集成电路上印刷32纳米及更小的特色尺寸。Xtreme是Lambda Physik AG和Jenoptik的合资企业。Lambda Physik的股份于2005年被日本的Ushio公司收购。为期36个月的该计划属于被称为More Moore的欧洲EUV计划的一部份，于2004年初激活，由荷兰的ASML公司负责。 

　　尽管面临许多包括功率输出和光学在内的技术挑战，EUV仍然不断取得进展。Carl Zeiss SMT表示，已向ASML提供了首套针对EUV微影的光学系统。ASML正开发两套Alpha EUV微影工具，以在第二季分别提供给比利时的IMEC研究中心和纽约Albany大学纳米技术分校。

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